2012　計量計測機器総合カタログ（page 136/674）[2012　計量計測機器総合カタログ]

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世界が認めるオリジナリティな先端技術と確かな品質世界が認めた音叉センサ技術振動数が極めて安定して正確な音叉の振動特性を利用し、その特性を高めるため、二つの音叉を上下に組み合わせた音叉振動子をモノブロッ....

世界が認めるオリジナリティな先端技術と確かな品質世界が認めた音叉センサ技術振動数が極めて安定して正確な音叉の振動特性を利用し、その特性を高めるため、二つの音叉を上下に組み合わせた音叉振動子をモノブロック構造にしたものが「音叉センサ」です。1983年に開発した世界初の音叉センサは、その高精度と安定性で計量計測分野に旋風をもたらしただけでなく、ハワイ島のマウナケア山頂に設置された国立天文台の世界最大級光学式天体望遠鏡『すばる』における鏡面制御にも、この音叉センサ技術が採用されています。音叉振動子音叉センサ概念図荷重音叉センサは、金属音叉振動子に荷重を加えると振動周波数が変化する原理で、デジタル出力の処理により力または質量を測定します。したがって音叉センサは、ロードセルに不可欠な材料の歪みやフォースバランス式に欠かせない電磁力、そしてこれらの方式に求められる電力およびA/D変換器をいっさい必要としません。このことから、原理的な誤差要因がきわめて少なく、高精度が長期にわたって得られるのです。音叉センサ支持力検出器光学式赤外線望遠鏡「すばる」の口径8.2m、厚さ20cmの超低膨張ガラスの反射鏡は、自重が23トンもあるため鏡面の歪みで焦点が合わなくなります。この歪みをなくすには、直径100km(関東平野に相当する広さ)の表面を±2mmの歪みに抑えるほどの超高精度な制御が求められます。鏡面をコントロールする261本の主鏡能動支持機構には、きわめて高精度で長期安定性に優れた力センサが必要となり、数あるセンサの中から、当社の音叉センサが採用されたのです。主鏡主鏡セル主鏡能動支持機構(アクチュエータ)